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無塵車間靜電控制方法有哪些？
來源：www.jjwccj.com 發(fā)布時間：2019年02月20日
1、靜電控制的基本原則：
(1)確定靜電控制級別；
(2)盡量減少靜電荷的產(chǎn)生；
(3)泄放和中和的辦法加速靜電荷消散，防止靜電積累；
(4)保護(hù)產(chǎn)品不受ESD的損壞。
2、確定靜電控制的級別：
(1)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感度分級；1級：易遭受0-1999V靜電電壓損壞的；2級：易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的；3級：易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的；而敏感靜電壓大于16000V的，便不必采取防靜電措施。
(2)靜電防護(hù)工作區(qū)的分級：A級：允許對地靜電電位不超過±100V；B級：允許對地靜電電位不超過±1000V；實(shí)際工程中是分靜電電位不超過100V、500V、1000V等對應(yīng)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感電壓的3級。
3、盡量減小靜電荷的產(chǎn)生：這是控制靜電三步曲的第一步，在這無塵工作環(huán)境中，最好的措施：
(2)盡量采用導(dǎo)靜電型或靜電耗散型材料的器材，減少接觸摩擦分離過程產(chǎn)生積累靜電荷;
(3)盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。
4、泄放和中和:這是控制靜電三步曲的第二步，在微電子生產(chǎn)的無塵室中最通常的措施是接地，采用導(dǎo)電性或耗散性材料泄放靜電荷，以及離子化消電器中和靜電荷。
(1)接地：無塵車間應(yīng)設(shè)一個獨(dú)立靜電接地系統(tǒng)(包括地面接地金屬網(wǎng)支系統(tǒng)、生產(chǎn)線工作站接地支系統(tǒng))，以便室內(nèi)所有設(shè)備金屬外殼、移動設(shè)備的金屬支架、防靜電器材等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地，以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經(jīng)防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔斷等是硬接地，設(shè)備外殼、移動設(shè)備(車、椅、貨架等)、工作臺等則屬軟接地。
(2)離子化肖電器：無塵車間中生產(chǎn)組裝的元器件、PCB，生產(chǎn)線、工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣導(dǎo)體和絕緣介質(zhì)材料(例如大多數(shù)普通塑料)。在某些環(huán)境下，離子化消電器常用來局部消散這些物體上的靜電荷，而更經(jīng)常的是借助于空氣離子化來中和在絕緣介質(zhì)上和孤立導(dǎo)體上的所帶靜電電荷。
(3)導(dǎo)靜電和靜電耗散材料：導(dǎo)靜電材料和靜電耗散材料由于其具有導(dǎo)靜電性，也是很好的靜電荷泄放材料，而且比金屬導(dǎo)體泄放更具有安全性，通常被采用做地板、墻面、工作臺、周轉(zhuǎn)容器、鑷子、刷子等防靜電器材。
5、防止ESD，保護(hù)產(chǎn)品：
國際上，半導(dǎo)體、平面液晶顯示器，光電子發(fā)展很快，集成度越來越高，芯片線徑越來越細(xì)，對防靜電要求越來越高。美國ESD協(xié)會已開始修訂ANS ESD S20.20-1999靜電放電控制大綱，對SSD靜電敏感性分類已作了些修改。這給元器件使用者一個警示，不論在人員或設(shè)備進(jìn)行裝備制造時，無塵車間告訴你能需要的環(huán)境控制要求。如果EPA區(qū)域內(nèi)允許電壓達(dá)到25V的話，恐怕我們現(xiàn)有的防靜電器材、裝備、工具以及工程都要經(jīng)過一番艱苦的努力。
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